半导体硅部件质料
1、高端拉晶工艺Know-how积累;;;;;;;;
2、7S精益治理,,,,,,,铸造卓越品质;;;;;;;;
3、自研自产,,,,,,,电性能优异;;;;;;;;
4、高纯度、大尺寸、可定制。。。。。。。。
我司生产的大尺寸高纯半导体单晶硅质料是芯片制程中的主要耗材用料,,,,,,,可进一步加工为硅环、硅电极、硅喷管、硅保温桶等焦点部件。。。。。。。。优异的纯度、稳固的电学性能与均一晶体品质,,,,,,,能够有用降低颗粒污染、稳固工艺情形,,,,,,,提升晶圆制造良率。。。。。。。。
产品矩阵
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产品类型:单晶
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电阻率类型:低电阻率(0.001-0.1Ω·cm)、中电阻率(1-4Ω·cm)、高电阻率(30-90Ω·cm)
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拉制尺寸:10-24寸
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掺杂类型:P型/N型
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①除通例产品外,,,,,,,公司可凭证客户需求生产制作种种定制化硅部件质料。。。。。。。。
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②使用的原质料为电子级硅料,,,,,,,纯度>9N。。。。。。。。
产品应用
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硅环
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硅电极
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硅排气环
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硅喷管
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硅保温桶
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硅舟
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硅舟基座
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硅内管